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2026/5/18

【半導体】巴川コーポレーションの通気性ヒーター、ニコンの露光装置に採用

　巴川コーポレーションが開発した通気性ヒーター部品「iCas MCT」が、ニコンの半導体露光装置に採用された。同装置は、2026年12月より販売される予定。通気性ヒーター部品「iCas MCT」が半導体露光装置に採用されるのは、今回が初。

開発の背景
　半導体分野においては、高まる半導体需要への対応と製造コストの低減が課題となっている。このような中、半導体製造工程の中核を担う半導体露光装置には、複雑かつ微細な電子回路パターンをシリコンウェハ上に高い精度で形成すると同時に、生産性やエネルギー効率の向上に貢献する技術が求められている。わずかな温度変動でもパターンの精度に影響を及ぼすため、特に露光装置内部はmK（ミリケルビン）単位の高精度かつ高速な温度制御が不可欠す。このような精密な温度制御においては、温度応答時間の短縮が重要であり、装置の生産性向上やエネルギー効率の改善にも直結する。

iCas MCTについて
　通気性ヒーター部品「iCas MCT」は、同用途向けに開発した新製品であり、半導体露光装置に採用されるのは、今回が初めて。「iCas MCT」は、ステンレス繊維で構成された紙状・多孔質の「ステンレス繊維シート」を発熱体として用いたヒーター部品。多孔質構造を有するステンレス繊維シートを採用することで、ヒーター部品自体に通気性を持たせることが可能となり、加熱面に対して垂直方向に空気を通過させながら効果的に加熱する。
　この構造により、ヒーター部品の熱容量を抑えつつ、高い温度応答性および昇温性能を実現した。また、部品の小型化・軽量化にも寄与し、半導体露光装置の高性能化に貢献している。

今後の展開
　巴川コーポレーションは、熱・電気・電磁波をコントロールするソリューションブランド「iCas」(アイキャス）のもと、用途に応じた製品・技術の開発、拡充を進めていく。

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