{"id":13129,"date":"2024-10-31T22:07:00","date_gmt":"2024-10-31T13:07:00","guid":{"rendered":"https:\/\/ctiweb.co.jp\/con\/?p=13129"},"modified":"2024-11-07T22:08:19","modified_gmt":"2024-11-07T13:08:19","slug":"%e3%80%90euv%e3%83%ac%e3%82%b8%e3%82%b9%e3%83%88%e3%81%a8euv%e7%8f%be%e5%83%8f%e6%b6%b2%e3%80%91%e5%af%8c%e5%a3%ab%e3%83%95%e3%82%a4%e3%83%ab%e3%83%a0%e3%80%81%e5%85%88%e7%ab%af%e5%8d%8a%e5%b0%8e","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/ctiweb.co.jp\/con\/%e3%80%90euv%e3%83%ac%e3%82%b8%e3%82%b9%e3%83%88%e3%81%a8euv%e7%8f%be%e5%83%8f%e6%b6%b2%e3%80%91%e5%af%8c%e5%a3%ab%e3%83%95%e3%82%a4%e3%83%ab%e3%83%a0%e3%80%81%e5%85%88%e7%ab%af%e5%8d%8a%e5%b0%8e\/","title":{"rendered":"\u3010EUV\u30ec\u30b8\u30b9\u30c8\u3068EUV\u73fe\u50cf\u6db2\u3011\u5bcc\u58eb\u30d5\u30a4\u30eb\u30e0\u3001\u5148\u7aef\u534a\u5c0e\u4f53\u306e\u88fd\u9020\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u7528\u3044\u3089\u308c\u308b\u30cd\u30ac\u578b\u306e\u6975\u7aef\u7d2b\u5916\u7dda\u5411\u3051\u6750\u6599\u306e\u8ca9\u58f2\u958b\u59cb\u3002\u9759\u5ca1\u30fb\u97d3\u56fd\u5e73\u6fa4\u62e0\u70b9\u3067\u751f\u7523\u80fd\u529b\u5897\u5f37"},"content":{"rendered":"\n<p>\u3000<a 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\/>\u3000\u5bcc\u58eb\u30d5\u30a4\u30eb\u30e0\u306f\u3001\u30d5\u30a9\u30c8\u30ec\u30b8\u30b9\u30c8*8\u3084\u30d5\u30a9\u30c8\u30ea\u30bd\u5468\u8fba\u6750\u6599*9\u3001CMP\u30b9\u30e9\u30ea\u30fc*10\u3001\u30dd\u30b9\u30c8CMP\u30af\u30ea\u30fc\u30ca\u30fc*11\u3001\u8584\u819c\u5f62\u6210\u6750*12\u3001\u30dd\u30ea\u30a4\u30df\u30c9*13\u3001\u9ad8\u7d14\u5ea6\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u30b1\u30df\u30ab\u30eb*14\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u306e\u524d\u5de5\u7a0b\u304b\u3089\u5f8c\u5de5\u7a0b\u307e\u3067\u306e\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u6750\u6599\u3084\u3001\u30a4\u30e1\u30fc\u30b8\u30bb\u30f3\u30b5\u30fc\u7528\u30ab\u30e9\u30fc\u30d5\u30a3\u30eb\u30bf\u30fc\u6750\u6599\u3092\u306f\u3058\u3081\u3068\u3057\u305fWave Control Mosaic\uff08\u30a6\u30a8\u30a4\u30d6 \u30b3\u30f3\u30c8\u30ed\u30fc\u30eb \u30e2\u30b6\u30a4\u30af\uff09\u2122*15\u3092\u30b0\u30ed\u30fc\u30d0\u30eb\u306b\u5c55\u958b\u3002\u6700\u5148\u7aef\u304b\u3089\u975e\u5148\u7aef\u307e\u3067\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u307b\u307c\u5168\u57df\u3092\u30ab\u30d0\u30fc\u3059\u308b\u8c4a\u5bcc\u306a\u88fd\u54c1\u30e9\u30a4\u30f3\u30a2\u30c3\u30d7\u306b\u52a0\u3048\u3001\u65e5\u7c73\u6b27\u30a2\u30b8\u30a2\u306e\u4e3b\u8981\u56fd\u306b\u88fd\u9020\u62e0\u70b9\u3092\u6709\u3059\u308b\u5b89\u5b9a\u4f9b\u7d66\u4f53\u5236\u3084\u9ad8\u3044\u7814\u7a76\u958b\u767a\u529b\u3092\u751f\u304b\u3057\u305f\u30ef\u30f3\u30b9\u30c8\u30c3\u30d7\u30bd\u30ea\u30e5\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306e\u63d0\u4f9b\u306b\u3088\u308a\u3001\u9867\u5ba2\u306e\u8ab2\u984c\u89e3\u6c7a\u306b\u53d6\u308a\u7d44\u307f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u306e\u767a\u5c55\u306b\u8ca2\u732e\u3057\u3066\u3044\u304f\u3002<br \/>\uff1c\u8a2d\u5099\u6295\u8cc7\u306e\u6982\u8981\uff1e<br \/>\u9759\u5ca1\u62e0\u70b9<br \/>1.\u5834\u6240\uff1a\u9759\u5ca1\u770c\u699b\u539f\u90e1\u5409\u7530\u753a\u5ddd\u5c3b<br \/>2.\u6295\u8cc7\u5185\u5bb9\uff1aEUV\u30ec\u30b8\u30b9\u30c8\u306e\u751f\u7523\u30fb\u54c1\u8cea\u8a55\u4fa1\u6a5f\u80fd\u5f37\u5316\u306e\u305f\u3081\u306e\u751f\u7523\u8a2d\u5099\u30fb\u691c\u67fb\u88c5\u7f6e\u306e\u5c0e\u5165<br \/>3.\u7a3c\u50cd\u958b\u59cb\u6642\u671f\uff1a2025\u5e7410\u6708<br \/>\u97d3\u56fd\u5e73\u6fa4\u62e0\u70b9<br \/>1.\u5834\u6240\uff1a\u5927\u97d3\u6c11\u56fd\u4eac\u757f\u9053\u5e73\u6fa4\u5e02\uff08\u68a7\u57ce\uff08\u30aa\u30bd\u30f3\uff09\u5de5\u696d\u56e3\u5730\uff09<br \/>2.\u6295\u8cc7\u5185\u5bb9\uff1aEUV\u30ec\u30b8\u30b9\u30c8\u304a\u3088\u3073EUV\u73fe\u50cf\u6db2\u306e\u751f\u7523\u30fb\u54c1\u8cea\u8a55\u4fa1\u6a5f\u80fd\u5f37\u5316\u306e\u305f\u3081\u306e\u30af\u30ea\u30fc\u30f3\u30eb\u30fc\u30e0\u8a2d\u7f6e\u3001\u751f\u7523\u8a2d\u5099\u30fb\u691c\u67fb\u88c5\u7f6e\u306e\u5c0e\u5165<br \/>3.\u7a3c\u50cd\u958b\u59cb\u6642\u671f\uff1a2025\u5e7410\u6708<br \/>*1 \u6975\u7aef\u7d2b\u5916\u7dda\u3092\u7528\u3044\u300110\u30ca\u30ce\u30e1\u30fc\u30c8\u30eb\u3088\u308a\u5fae\u7d30\u306a\u4e16\u4ee3\u306b\u5fc5\u8981\u3068\u3055\u308c\u308b\u6700\u5148\u7aef\u30ea\u30bd\u30b0\u30e9\u30d5\u30a3\u6280\u8853\u3002<br \/>*2 Negative Tone Imaging \u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3002\u9732\u5149\u5f8c\u306b\u611f\u5149\u3057\u306a\u304b\u3063\u305f\u90e8\u5206\u3092\u73fe\u50cf\u6db2\u3067\u9664\u53bb\u3057\u3066\u56de\u8def\u3092\u4f5c\u308b\u30cd\u30ac\u578b\u306e\u73fe\u50cf\u5de5\u7a0b\u3002<br \/>*3 ArF\uff08\u30d5\u30c3\u5316\u30a2\u30eb\u30b4\u30f3\uff09\u30a8\u30ad\u30b7\u30de\u30ec\u30fc\u30b6\u30fc\u5149\uff08\u6ce2\u9577193\u30ca\u30ce\u30e1\u30fc\u30c8\u30eb\uff09\u3092\u7528\u3044\u308b\u9732\u5149\u624b\u6cd5\u3067\u3001\u73fe\u5728\u6700\u3082\u666e\u53ca\u3057\u3066\u3044\u308b\u5148\u7aef\u30ea\u30bd\u30b0\u30e9\u30d5\u30a3\u6280\u8853\u3002<br \/>*4 \u51fa\u5178\uff1a\u5bcc\u58eb\u30ad\u30e1\u30e9\u7dcf\u7814\u300c2023 \u5148\u7aef\uff0f\u6ce8\u76ee\u534a\u5c0e\u4f53\u95a2\u9023\u5e02\u5834\u306e\u73fe\u72b6\u3068\u5c06\u6765\u5c55\u671b\u300d\u3088\u308a\u3002<br \/>*5 Negative Tone Imaging\u73fe\u50cf\u6db2\u3002\u9732\u5149\u5f8c\u306b\u611f\u5149\u3057\u306a\u304b\u3063\u305f\u90e8\u5206\u3092\u73fe\u50cf\u6db2\u3067\u9664\u53bb\u3057\u3066\u56de\u8def\u3092\u4f5c\u308b\u30cd\u30ac\u578b\u306e\u73fe\u50cf\u5de5\u7a0b\u3067\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u3002<br \/>*6 PAG Connected PDQ\uff08Photo Decomposable Quencher:\u5149\u5206\u89e3\u6027\u30af\u30a8\u30f3\u30c1\u30e3\u30fc\uff09\u306e\u7565\u3002\u5149\u9178\u767a\u751f\u5264\uff08PAG\uff09\u3068\u30af\u30a8\u30f3\u30c1\u30e3\u30fc\u3092\u504f\u308a\u306a\u304f\u5206\u6563\u3055\u305b\u308b\u305f\u3081\u306b\u3001\u5149\u9178\u767a\u751f\u5264(PAG)\u3068\u30af\u30a8\u30f3\u30c1\u30e3\u30fc\u3092\u7d50\u5408\u3055\u305b\u305f\u6a5f\u80fd\u6027\u6750\u6599\u3002<br \/>*7 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Polishing\uff08\u5316\u5b66\u7684\u6a5f\u68b0\u7814\u78e8\uff09\u306e\u7565\u3002<br \/>*11 CMP\u30b9\u30e9\u30ea\u30fc\u306b\u3088\u308b\u7814\u78e8\u5f8c\u306b\u3001\u91d1\u5c5e\u8868\u9762\u3092\u4fdd\u8b77\u3057\u306a\u304c\u3089\u3001\u7c92\u5b50\u3001\u5fae\u91cf\u91d1\u5c5e\u304a\u3088\u3073\u6709\u6a5f\u6b8b\u7559\u7269\u3092\u6d17\u6d44\u3059\u308b\u30af\u30ea\u30fc\u30ca\u30fc\u3002<br \/>*12 \u4f4e\u8a98\u96fb\u7387\u306e\u7d76\u7e01\u819c\u3092\u5f62\u6210\u3059\u308b\u305f\u3081\u306e\u6750\u6599\u3002<br \/>*13 \u9ad8\u3044\u8010\u71b1\u6027\u3084\u7d76\u7e01\u6027\u3092\u6301\u3064\u6750\u6599\u3002\u534a\u5c0e\u4f53\u306e\u4fdd\u8b77\u819c\u3084\u518d\u914d\u7dda\u5c64\u306e\u5f62\u6210\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u3002<br \/>*14 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\u51fa\u5178\uff1a\u5bcc\u58eb\u30ad\u30e1\u30e9\u7dcf\u7814\u300c2023 \u5148\u7aef\uff0f\u6ce8\u76ee\u534a\u5c0e\u4f53\u95a2\u9023\u5e02\u5834\u306e\u73fe\u72b6\u3068\u5c06\u6765\u5c55\u671b\u300d\u3088\u308a\u3002<br \/>\n*5 Negative Tone Imaging\u73fe\u50cf\u6db2\u3002\u9732\u5149\u5f8c\u306b\u611f\u5149\u3057\u306a\u304b\u3063\u305f\u90e8\u5206\u3092\u73fe\u50cf\u6db2\u3067\u9664\u53bb\u3057\u3066\u56de\u8def\u3092\u4f5c\u308b\u30cd\u30ac\u578b\u306e\u73fe\u50cf\u5de5\u7a0b\u3067\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u3002<br \/>\n*6 PAG Connected PDQ\uff08Photo Decomposable Quencher:\u5149\u5206\u89e3\u6027\u30af\u30a8\u30f3\u30c1\u30e3\u30fc\uff09\u306e\u7565\u3002\u5149\u9178\u767a\u751f\u5264\uff08PAG\uff09\u3068\u30af\u30a8\u30f3\u30c1\u30e3\u30fc\u3092\u504f\u308a\u306a\u304f\u5206\u6563\u3055\u305b\u308b\u305f\u3081\u306b\u3001\u5149\u9178\u767a\u751f\u5264(PAG)\u3068\u30af\u30a8\u30f3\u30c1\u30e3\u30fc\u3092\u7d50\u5408\u3055\u305b\u305f\u6a5f\u80fd\u6027\u6750\u6599\u3002<br \/>\n*7 \u56de\u8def\u30d1\u30bf\u30fc\u30f3\u306e\u3086\u3089\u304e\u306e\u6307\u6a19\u3068\u306a\u308bLWR\uff08Line Width Roughness\uff09\u3092\u3001PCP\u3092\u7528\u3044\u306a\u3044\u5834\u5408\u3068\u6bd4\u3079\u3066\u7d0417%\u4f4e\u6e1b\u3055\u305b\u305f\u3002\u5f53\u793e\u8abf\u3079\u3002<br \/>\n*8 \u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u306e\u5de5\u7a0b\u3067\u3001\u56de\u8def\u30d1\u30bf\u30fc\u30f3\u306e\u63cf\u753b\u3092\u884c\u3046\u969b\u306b\u30a6\u30a8\u30cf\u30fc\u4e0a\u306b\u5857\u5e03\u3059\u308b\u6750\u6599\u3002<br \/>\n*9 \u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u306e\u30d5\u30a9\u30c8\u30ea\u30bd\u5de5\u7a0b\u3067\u4f7f\u7528\u3059\u308b\u73fe\u50cf\u6db2\u3084\u30af\u30ea\u30fc\u30ca\u30fc\u306a\u3069\u3002<br \/>\n*10 \u786c\u3055\u306e\u7570\u306a\u308b\u914d\u7dda\u3084\u7d76\u7e01\u819c\u304c\u6df7\u5728\u3059\u308b\u534a\u5c0e\u4f53\u8868\u9762\u3092\u5747\u4e00\u306b\u5e73\u5766\u5316\u3059\u308b\u7814\u78e8\u5264\u3002CMP\u306f\u3001Chemical Mechanical Polishing\uff08\u5316\u5b66\u7684\u6a5f\u68b0\u7814\u78e8\uff09\u306e\u7565\u3002<br \/>\n*11 CMP\u30b9\u30e9\u30ea\u30fc\u306b\u3088\u308b\u7814\u78e8\u5f8c\u306b\u3001\u91d1\u5c5e\u8868\u9762\u3092\u4fdd\u8b77\u3057\u306a\u304c\u3089\u3001\u7c92\u5b50\u3001\u5fae\u91cf\u91d1\u5c5e\u304a\u3088\u3073\u6709\u6a5f\u6b8b\u7559\u7269\u3092\u6d17\u6d44\u3059\u308b\u30af\u30ea\u30fc\u30ca\u30fc\u3002<br \/>\n*12 \u4f4e\u8a98\u96fb\u7387\u306e\u7d76\u7e01\u819c\u3092\u5f62\u6210\u3059\u308b\u305f\u3081\u306e\u6750\u6599\u3002<br \/>\n*13 \u9ad8\u3044\u8010\u71b1\u6027\u3084\u7d76\u7e01\u6027\u3092\u6301\u3064\u6750\u6599\u3002\u534a\u5c0e\u4f53\u306e\u4fdd\u8b77\u819c\u3084\u518d\u914d\u7dda\u5c64\u306e\u5f62\u6210\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u3002<br \/>\n*14 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\u30bb\u30f3\u30b5\u30fc\u306a\u3069\u306e\u30a4\u30e1\u30fc\u30b8\u30bb\u30f3\u30b5\u30fc\u306e\u30ab\u30e9\u30fc\u30d5\u30a3\u30eb\u30bf\u30fc\u3092\u88fd\u9020\u3059\u308b\u305f\u3081\u306e\u7740\u8272\u611f\u5149\u6750\u6599\u3092\u542b\u3080\u3002<\/p>\n","protected":false},"author":6,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":[],"categories":[17],"tags":[19],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/ctiweb.co.jp\/con\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/13129"}],"collection":[{"href":"https:\/\/ctiweb.co.jp\/con\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/ctiweb.co.jp\/con\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ctiweb.co.jp\/con\/wp-json\/wp\/v2\/users\/6"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/ctiweb.co.jp\/con\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=13129"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/ctiweb.co.jp\/con\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/13129\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":13130,"href":"https:\/\/ctiweb.co.jp\/con\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/13129\/revisions\/13130"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/ctiweb.co.jp\/con\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=13129"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/ctiweb.co.jp\/con\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=13129"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/ctiweb.co.jp\/con\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=13129"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}