除塵対象２〜５μｍクラス ９９．９％ 除去パネル搬送型クリーナー【対応幅：10〜4,300mm】【特 徴】○ 広いプロセスマージンを持った直進性の高いシャープなウェブクリーナー【対応幅：10〜4,600mm】【特 徴】○ 各種フィルム・シートの洗浄に。○ パスローラー径にあわせたノズル設計。○ 既設ラインに簡易設置可能。空気と共に生きる東洋熱工業株式会社エアトロニック事業部 高速エアーを供給。○ 対象物の反りや凹凸部における除去性能の低下が無い。○極薄基板に対応：板厚 t=0.04mm〜クリーニング可能。○ノズル廻りに狭ピッチローラーを配置。 コシの弱い基板に対する安定搬送を可能に。○基板に最適な除電装置が選択可能。特許取得【PAT No.6841633】気液クロス噴射 特殊ノズルAfter指先につけ押し当てた異物でも除去可能〒135-0063 東京都江東区有明1-2-25TEL.03-3529-1011 FAX.03-3529-1016http://www.tonets.co.jpBefore吸込エアー吸込エアー搬送方向多段縮流多段縮流吸込エアー給気吸込エアー給気純水純水ノズル内部ノズル内部エアーナイフエアーナイフローラーφ150ローラーφ150補助エアー補助エアーナイフナイフ極薄基板向 標準対応V-SPEC ノズル極薄基板用に新たに開発された非対向Vラインノズル 【特許取得 PAT No.6420967】。対向気流による相互干渉の緩和により、基板のバタツキ低減・騒音低減、穴部・端部におけるバリ・ヒゲの除去に有効。異次元の除塵力 新開発 ウェブ用気液クロス噴射式 ノズル純水とエアーのクロス噴射で生み出す力が、従来では除去しきれなかった固着異物を効果的に除去● 特殊設計「多段縮流ノズル（マルチコントラノズル）」にて特許取得。 【PAT NO.4948787】ノズル内の流路抵抗を極限まで低減し、高速かつシャープな噴流を実現。除塵性能を低下させない到達距離が従来品（当社比）の約２倍に向上。国内外納入実績２,０００台以上
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