アメリカ ルメトリクス社の多層膜厚測定器 OptiGauge

計測・分析機器   膜厚
OptiGauge

アメリカ　ルメトリクス社のOptiGaugeは、1,310nmの赤外線を用いた多層膜厚測定器です。12μm〜8000μm（8mm）までの厚みレンジを高精度、高速で測定可能で、様々な製造ラインや研究開発用途に使用できます。　

特徴：
・精度±0.1μm、繰り返し性0.1μm
・1秒間に最大200測定可能（標準：50測定／秒）
・拡張性に優れ1台で最大8台までプローブ（測定ヘッド）増設可能
・設置の自由度が高く、オプティカルファイバーケーブルは1000mまで延長可能
・操作が簡単で、「プラグ＆プレイ」でほとんどのアプリケーションに対応
・イーストマンコダックにより開発された技術
・1台で12μ〜8000μm（8mm）厚まで測定可能
・各層の厚みを順番どおりにグラフィカルに表示

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