アメリカ ルメトリクス社の多層膜厚測定器 OptiGauge

OptiGauge

アメリカ ルメトリクス社のOptiGaugeは、1,310nmの赤外線を用いた多層膜厚測定器です。12μm〜8000μm(8mm)までの厚みレンジを高精度、高速で測定可能で、様々な製造ラインや研究開発用途に使用できます。 

特徴:
・精度±0.1μm、繰り返し性0.1μm
・1秒間に最大200測定可能(標準:50測定/秒)
・拡張性に優れ1台で最大8台までプローブ(測定ヘッド)増設可能
・設置の自由度が高く、オプティカルファイバーケーブルは1000mまで延長可能
・操作が簡単で、「プラグ&プレイ」でほとんどのアプリケーションに対応
・イーストマンコダックにより開発された技術
・1台で12μ〜8000μm(8mm)厚まで測定可能
・各層の厚みを順番どおりにグラフィカルに表示


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