光干渉方式初
高精度表面形状計測と同時にリアルカラー3D画像表示を標準装備。煩雑な操作が無く、測定ボタンだけで高精度な表面形状の計測とカラー画像の取得が可能。色の見え方、サンプルの色を重視する用途に最適。また、小型機ながら中型機用のピエゾ駆動を採用。これによりスキャンレンジが拡大。レンズの切替もレボルバで容易。
表面形状計測の仕様は既存ラインのVertScan2.0 と同等。優れた性能、使いやすい解析ソフト、先ずは無料デモ計測でお試しください。　　
＜用途＞
●印刷関連（紙、フィルムなど基材表面、インク、ペーストなど塗膜面）
●FPD関係（カラーレジスト、カラーフィルタ）
●ウエハ、ガラス、金属表面、車の塗装の評価、微細表面形状、粗さの解析　　
＜測定仕様＞
●高垂直分解能　0.01nm(Phase mode)
●最大視野：2.5×1.9mm
●測定再現性：σ＜0.1％、88nm標準段差測定時
●層断面計測：分離可能間隔、光学長1.0μm以上、0.1μm分解能