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2026/4/9

【半導体】住友化学、大阪工場に先端半導体用フォトレジスト技術棟を新設

　住友化学は、大阪工場（大阪市此花区）において、EUV（極端紫外線）およびArF（フッ化アルゴン）などの先端半導体用フォトレジストの供給体制を一段と強化するため、製造プロセス技術・品質評価・分析に関する機能を集約した新棟の建設を決定しました。2027年度末の完成を目指す。

　フォトレジストは、半導体製造プロセスにおいて回路パターン形成に使用される感光性樹脂。先端ロジックおよびメモリー半導体の微細化・多層化を支える基幹材料で、生成AIの普及、IoT化の進展、データセンター投資の拡大を背景に、今後も高性能、高品質と安定供給への要求が一層高まることが見込まれている。住友化学は、ファインケミカル事業で培った有機合成技術を基盤とし、世界トップクラスの技術力を強みに先端半導体用フォトレジスト事業を拡大してきた。

　住友化学は、22年に大阪工場に開発・評価新棟を建設し、先端露光機の導入を順次進めるなど、材料設計から評価までの開発力を強化してきた。一方、その開発成果をタイムリーな供給につなげるには、製造ラインにおけるプロセス管理の高度化が欠かせない。原料の先行評価から出荷に至るまで、各工程を高い精度で管理できるシステムが求められている。今回の新棟建設は、これまで工場内に分散していたEUVレジストおよびArFレジストの製造プロセス技術、品質評価、分析に関する機能を一体化し、さらにプロセス管理の高度化を図るもの。これにより、量産立ち上げのスピード向上や工程の作り込みによる品質の一層の安定化を進め、より高いレベルの品質信頼性と供給安定性を実現する。大阪工場において「開発～量産化～分析」までを一気通貫で担う最先端フォトレジスト向けの体制を拡充することで、グローバルな安定供給機能を一段と強化する。

　住友化学グループは、半導体材料事業を成長ドライバーの1つと位置づけ、経営資源を重点的に投入し、積極的に事業拡大を図っている。これまで、国内工場の能力増強、先端品の開発・評価棟の新設、韓国拠点でのライン新設などを通じて、半導体材料事業の戦略品目であるフォトレジスト事業への投資を着実に進めてきた。EUVレジストおよびArFレジストの販売は順調に拡大しており、独自の有機分子レジストなど次世代EUV向け製品の開発も加速している。今後も、半導体材料の新規領域開発に積極的に取り組み、高品質な製品の安定供給を通して、スマート社会の実現に貢献していく考えだ。

新棟の概要

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