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2025/12/10

【半導体】富士フイルム、KrF露光に対応した「Wave Control Mosaic」発売

　富士フイルムは、「Wave Control Mosaic（ウエイブ コントロール モザイク）^（*1）」の新製品として、KrF^（*2）露光に対応したイメージセンサー用カラーフィルター材料をび発売した。同製品は、環境や生態系への影響が懸念される有機フッ素化合物PFASを一切使わない環境配慮型の材料。超微細化と高感度化が求められる最先端のイメージセンサーに使用され、スマートフォンカメラの高画質化に貢献する。

　イメージセンサーは、光を電気信号に変えて映像化する半導体で、スマートフォンやデジタルカメラなどに搭載されている。近年、自動車や、監視カメラをはじめとするセキュリティ機器、AR/VR機器などへの用途拡大が進む中、イメージセンサー市場は年率約6%^（*3）で成長することが見込まれている。また、スマートフォンでの写真撮影や動画配信など撮影機会の増加に伴い、あらゆるシーンで明るくなめらかな画像・映像を撮影したり、撮影後に切り抜いて編集するなどのニーズが高まっており、イメージセンサーにはさらなる高画質化が求められている。イメージセンサーの高画質化には、より細かい画素で高精細なイメージをつくりだすためにセンサー画素の微細化が必要だが、画素を微細化すると、取り込める光の量が減少し、感度が低下するという課題があった。

　「Wave Control Mosaic」の新製品は、従来のi線^（*4）露光では実現できなかった、より微細な画素の形成を可能にするKrF露光に対応した世界初のカラーフィルター材料。同社は、銀塩写真の研究開発で培った機能性分子の設計技術や有機合成技術を活用して、KrF露光に最適化した新たな添加剤と、耐熱性と耐光性に優れた独自の染料を開発。また、独自の処方技術により、従来の顔料に加えて、新開発の染料を原材料に用いることで光透過率を増加させ、微細化による光量低下を補うカラーフィルター材料を完成させた。本製品の提供を通じ、イメージセンサーの微細化と高感度化の両立を実現。ユーザーは、あらゆるシーンで明るくなめらかな画像・映像を撮影できる。

　さらに、同製品は、環境や生態系への影響が懸念される有機フッ素化合物PFASを一切使わないPFASフリー^（*5）製品である。同社はこれまでも、PFASフリーのネガ型ArF液浸レジストやナノインプリントレジストを開発し、人体や環境への悪影響のリスクが懸念される物質の自主的な削減と代替化に取り組んできた。同製品の開発で培ったPFASフリー化の技術を、すべての「Wave Control Mosaic(TM)」やフォトレジスト^（*6）などにも適用することで、当社半導体材料のPFASフリー化を進めていく。

　同社は今後も、イメージセンサー用カラーフィルター材料のトップメーカーとして、イメージセンサーの高画質化に加え、人間の目には見えない赤外光を活用した暗所撮影などに適した材料開発を進め、「見えない世界を見える世界に変え、社会に新しい視覚と価値を届ける」というコンセプトのもと、イメージセンサー市場の拡大に貢献していく。

*1 広範囲な波長の電磁波（光）をコントロールする当社の機能性材料群の総称。デジタルカメラやスマートフォンに用いられるCMOSセンサーなどのイメージセンサーのカラーフィルターを製造するための着色感光材料を含む。Wave Control Mosaicは、富士フイルム株式会社の登録商標または商標
*2 KrF（フッ化クリプトン）:半導体製造の「フォトリソグラフィー工程」の露光で使われる、波長248nmのレーザー光源。この光を使って、半導体ウエハー上に微細な回路パターンを焼き付ける
*3 市場調査会社「テクノシステムリサーチ」の「2025年上期版CCD&CMOS市場のマーケティング分析」より
*4 波長が365nmの水銀のスペクトル線。KrF同様、フォトリソグラフィー工程の露光で使われる光源の1つ
*5 PFASとは、ペルフルオロアルキル化合物、ポリフルオロアルキル化合物およびこれらの塩類の総称。具体的には、OECD（The Organization for Economic Co-operation and Development）が2021年に公表した“Reconciling Terminology of the Universe of Per- and Polyfluoroalkyl Substances: Recommendations and Practical Guidance”で示す化合物のことを指す。PFASフリーは、この定義された
グループに該当する物質が含まれていないことを意味する
*6 半導体製造の工程で、回路パターンの描画を行う際にウエハー上に塗布する材料

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