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2024/11/26

【半導体】巴川コーポレーション、「フレキシブル面状ヒーター」製造設備新設。効率的な加熱で省エネに貢献

　巴川コーポレーションは、静岡事業所内に「フレキシブル面状ヒーター」を製造する新設備を設置することを決定した。
　巴川コーポレーションは、今後の拡大が見込まれる半導体市場向けに、製造工程における電力使用量削減のため、製造装置や工場内の配管部分における加熱効率を大きく向上させるステンレス繊維シートを使った「フレキシブル面状ヒーター」の開発に取り組んできた。
　現在、国内の大手半導体製造装置メーカーや半導体製造メーカーに対し、本製品の納入を目指している。まずは2025年度後半に年商10億円の規模とすることを目標とし、そのための量産体制構築に向けて、今回の製造設備新設を行う。投資額は8億円程度、操業開始予定は2025年4月を目指す。
　「フレキシブル面状ヒーター」は、高い熱伝導性と多孔質構造といった特性を持つステンレス繊維シートを使用している。優れた柔軟性により、被加熱体の表面に追従させることで効率的な加熱を実現し、省エネに貢献するTOMOEGAWA独自の技術。

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