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2025/9/27

【流体研磨技術】アルゴヴィジョンテクノロジズ、半導体製造装置部品の精密仕上げを実現

　アルゴヴィジョンテクノロジズは、半導体製造装置の部品加工に新たな価値を提供する流体研磨装置技術を発表した。この技術は、流体力学と革新的な設計が融合したもので、これまでの研磨技術を大きく進化させる。
　スマートフォンやパソコン、EV、自動運転技術まで、人々の生活を支える半導体は、nm単位の精密な加工と高い信頼性が求められている。その半導体を製造する装置自体も、極めて高い精度とクリーン度を持つ部品によって構成されている。しかし、装置に使われる金属部品やセラミック部品は、製造過程で必ず「表面の凹凸」や「微細な傷」「バリ」と呼ばれる加工残りが生じる。これらの微細な欠陥は、半導体製造の歩留まり低下や装置寿命の短縮につながりかねない。だからこそ、部品の最終工程として「研磨」が欠かせない。
　研磨が必要な理由は次の通り。
(1)異物の発生を防ぐため
　装置内部のわずかな凹凸やバリは、使用中に微細な異物を発生させる。半導体製造では、この異物が基板に付着すると不良品が発生してしまう。
(2)表面を滑らかにして耐久性を向上
　粗い表面は摩耗や腐食の原因になる。研磨で平滑化することで、部品の寿命が大幅に延びる。
(3)ナノレベルの精度確保
　半導体製造装置では、ガスや液体の流路、真空チャンバーなどに極めて精密な表面処理が求められる。研磨によってナノレベルで均一な表面が実現できる。
　アルゴヴィジョンテクノロジズが提供するのは、独自の流体研磨装置技術。これは、微細な研磨材と水を混ぜた流体を高速で部品内面に流し、ナノレベルで凹凸をならす技術。
　従来の機械的な研磨では難しかった複雑な形状や内部流路でも、流体が隅々まで行き渡ることで均一な研磨が可能になる。
・均一性の高さ：形状を問わず均一な表面仕上げ
・微細形状対応：人の手や通常の研磨機では不可能な内部まで対応
・高い再現性　：量産部品でも安定した品質を保証

　アルゴヴィジョンテクノロジズは装置販売だけでなく受託研磨サービスも行っている。
＜技術概要＞
技術名　：流体研磨
対応内径：φ0.1～φ5.0
対応長さ：～2000mm
対応材質：ステンレス系（303、304、316、316L、SUS420J2、etc.）
　　　　　チタン系（純Ti、Ni-Ti、64Ti、etc.）
　　　　　アルミ系(ALSi10Mg、ジュラルミン、etc)
　　　　　コバルト合金系(エルジロイ、Mp35N、etc)
　　　　　ニッケル合金系(インコネル718、ハステロイX、etc)
　　　　　銅系(cu、etc)
　　　　　その他(S45C、SCM415、SKD61、マルエージング鋼、モリブデン、etc)
　　　　　＊上記以外のサイズ・材質にも対応可能

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コンバーティングプロダクツ＆テクノロジー