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2025/10/8

【静電容量式非接触厚さ計】 小野測器、「CL-7100シリーズ」を発表

 電子計測器の製造および販売を展開する小野測器は、導体・半導体・絶縁体の厚さを1台で非接触測定できる「静電容量式非接触厚さ計 CL-7100シリーズ」を2025年12月より発売する。
※オプション(CL-0740 絶縁体計測機能)の搭載が必要


静電容量式非接触厚さ計 CL-7100

 ロングセラー製品「CL-5610シリーズ」の後継機として、測定精度と応答性能を大幅に強化し、温度測定やEthernet通信など新機能も搭載。検査工程の効率化と品質向上を強力にサポート。

 同製品は、シリコンウェハーやモーター用電磁鋼板、EVバッテリー用のフィルムなど、多様な材料の厚さ測定に対応する。多彩な変位センサーとの組み合わせで、生産ラインの品質管理を高精度・高速化へと進化させる。

【新製品3つのポイント】
高精度・高応答 ─ 測定精度±0.05~0.12 %FS(センサーとの組み合わせによる)、演算周期 10 ms
新機能搭載 ─ 温度測定・補正機能、Ethernet通信(オプション)
操作性向上 ─ 見やすく使いやすいタッチパネルディスプレイ

【ターゲット市場・主な用途】
導体・半導体の厚さ測定
 例:シリコンウェハー、モーター用電磁鋼板

絶縁体の厚さ測定(オプション CL-0740搭載時)

 例:リチウムイオン電池および燃料電池用の絶縁体フィルム

測定例: スライドテーブル上のシリコンウェハー厚さ測定(CL-015 スライドテーブル使用)

【特長】
非接触・高精度・高応答の計測性能
 同社の非接触厚さ計は、測定対象物に物理的な影響を与えることなく高い再現性を実現。
 今回発売するCL-7100シリーズは、従来製品と比べて、より高精度な測定が可能となり(±0.05 %FS〜±0.12 %FS、センサーとの組み合わせによる)、演算周期も20 msから10 msへ短縮。多点連続測定や高速ラインに対応し、検査時間の短縮と高品質な計測を同時に実現する。

温度測定・ネットワーク連携(オプション)
 PT-100温度センサーによる環境温度の測定が可能となった。
 厚さ測定と同時に温度データを取得することで、温度変化に伴う測定誤差を補正し、より高精度な測定を実現。さらにEthernet通信に対応し、ネットワーク経由での一括管理・データ収集・遠隔監視をサポートする。

直感的に使えるカラー液晶タッチパネルディスプレイ
 視認性に優れたカラー液晶ディスプレイとわかりやすいメニュー構成により、必要な情報に素早くアクセス可能。変位・厚さ・温度など、最大4項目の測定データを1画面に同時表示。画面切り替えなしで複数の情報を一括確認できるため、測定状況をすばやく把握できる。
 ハードキー操作にも対応し、手袋を着けたままでも、さまざまな現場環境で確実かつ快適に操作可能。

小型・軽量・低消費電力化
 小型・軽量化設計により、体積・質量ともに従来比約50 %を実現。また、低消費電力化により環境負荷を抑え、カーボンニュートラルの実現に貢献する。

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