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2024/5/27

【FPD露光装置】キヤノン、車載用の大型特殊ディスプレイやスマートフォン向け「MPAsp-E1003H」を6月上旬発売

　キヤノンは、第6世代ガラス基板※1に対応したFPD（フラットパネルディスプレイ）露光装置の新製品として、露光幅拡大により高い生産性を実現した「MPAsp-E1003H」を2024年6月上旬に発売する。

　近年、自動運転技術の進展や電気自動車の市場拡大により、多様な車載用ディスプレイの需要が高まっている。車載向けやスマートフォン向けのディスプレイの製造においては、薄型・軽量と高精細を両立する品質を実現しながら、効率的に量産を行う高い生産性が求められている。「MPAsp-E1003H」は、露光幅の拡大による高い生産性と新技術による重ね合わせ精度を両立することで、ディスプレイ製造の効率化に貢献する。
◼第6世代ガラス基板最大※2の露光幅により生産性が向上
　大型テレビなどの65型パネルを一括で露光可能な第8世代ガラス基板※3向け「MPAsp-H1003H」（2022年7月発売）で実績のある投影光学系を搭載したことにより、1.5μm※4（L／S※5）の高解像力で一度に露光できる幅を約1.2倍※6に拡大している。1枚のガラス基板につき、従来6ショットの露光が必要であったスマートフォンなどの製品は4ショットでの露光が可能となり、生産性が向上した。さらに車載用途に使われる横長の大型特殊ディスプレイも繋ぎ目なく2ショットで露光できるため、量産の効率化に寄与する。

◼新開発の非線形補正ユニットにより高い重ね合わせ精度を実現
　第6世代基板対応の「MPAsp-E813H」（2014年9月発売）と同じアライメント方式を採用しているほか、新開発の非線形補正REI（Real-Time Equalizing distorted Image）ユニットを搭載。REIユニットにより露光幅を拡大しても±0.30μmという高い重ね合わせ精度を実現。
◼プロセス対応力を強化
　「MPAsp-H1003H」で実績のある超解像を実現する照明モード切替機構、露光線幅を安定させる露光スリット自動調整（SIC）機構、露光レイアウトに合わせて最適なガラス基板の向きを縦横選択可能にするユニバーサルチャックを踏襲し、さまざまな製造プロセスへの対応力を強化するとともに、品質の安定化にも貢献する。
※1　1,500×1,850mm サイズのガラス基板で、スマートフォンを中心とした中小型ディスプレイの製造に用いられる。
※2　キヤノン製の第6世代ガラス基板に対応したFPD露光装置において。
※3　2,200×2,500mm サイズのガラス基板で、現在は主にテレビ用ディスプレイのパネル製造に用いられる。
※4　1マイクロメートルは、100万分の1メートル（＝1000分の1mm）。
※5　Line and Space の略称。Line とSpace が等間隔に並んだパターン。
※6　「MPAsp-E813H」と比較。

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