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2025/3/19
【SEMICON China 2025 】タカノ、半導体向け欠陥検査装置と「PSL塗布ウェーハ」を出品
タカノは、2025年03月に中国・上海で開催される世界最大級の半導体製造サプライチェーン展示会「SEMICON China 2025」に初出展する。高精度な半導体向け検査装置と、新たに展開する「PSL塗布ウェーハ」を披露し、半導体製造現場での品質管理を強力にサポートする最新技術を紹介する。
出展の背景
同社はこれまで、半導体向け検査装置や光学検査技術を活かした製品の開発、製造、販売を行い、多くの国内外企業に高品質な製品を提供してきた。近年、半導体産業の成長に伴い、自社の技術が果たす役割もますます重要になり、半導体業界向け検査装置および新たに展開するサービスを紹介するため、SEMICON China 2025初出展し、検査装置に加え、PSL粒子塗布ウェーハの販売もSEMICON China 2025にて紹介する。
出展概要
展示会名：SEMICON China 2025
会期：2025年3月26日(水)～28日(金)
会場：上海新国際博覧中心（SNIEC ）
主催：SEMI China
公式HP：https://www.semiconchina.org/
ブース番号：T2225
▽展示会招待券お申込み(無料)サイトはこちら
出展内容
ウェーハ表面検査装置（WMシリーズ）
半導体デバイスの製造、材料開発、装置管理に欠かせない検査システム。
ナノレベルのパーティクル（異物）を検出することが可能で、国内外にて数多く使用しされている。光源には半導体レーザーを使用しており、ランニングコストの軽減になる。
WM-7SR、WM-10Rは、国際的な安全認証を取得
詳しくはこちらから
URL：https://www.takano-kensa.com/kensa/products/semiconductor/wm/
ウェーハ外観検査装置（Viシリーズ）
ウェーハの配線パターンやクラック、異物混入などを高精度に検査します。ウェーハサイズ・デバイス・欠陥等の種類・検査速度に応じて、5種類のラインナッがある。
ウェーハの配線パターンやクラック、異物混入などを高精度に検査します。ウェーハサイズ・デバイス・欠陥等の種類・検査速度に応じて、5種類のラインナップからご提案できる。
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URL：https://www.takano-kensa.com/kensa/products/semiconductor/pattern/
全面膜ムラ検査装置（Thinspector）
1スキャンでウェーハ全面の膜厚測定、ムラ検査を高速に行い、抜けのない膜厚管理を行うことができる。
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URL：https://www.takano-kensa.com/kensa/products/semiconductor/thinspector/
全面高さ検査装置 ALTAX
半導体ウェーハやBGA、CSPなどのパッケージ基板に形成されたバンプの高さ、径およびコプラナリティを新型検査ユニット“Mervel”にて高速かつ高精度に測定する。
独自に改良を重ねた光学系とデータ処理方法(Time Delay Scanning)の採用により、これまでの光切断方式にない高精度測定が可能となった。
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URL：https://www.takano-kensa.com/kensa/products/semiconductor/thinspector/
フィルム外観検査装置Hawkeyesシリーズ
Hawkeyesシリーズは高機能フィルム市場(光学、電子部材、電池部材)に対して、自社製のカメラと画像処理ユニット、検査アルゴリズムを採用することで高速かつ高精度な検査を実現する。
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URL：https://www.takano-kensa.com/kensa/products/film/one/
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