アーカイブ情報

2024/12/7

【SEMICON JAPAN 2024】アルバック、真空技術を紹介

　アルバックは、2024年12月11日～13日まで、東京ビッグサイトで開催される「SEMICON JAPAN 2024」に出展する。ブースは、東4ホールの4420。
　アルバックブースでは、「半導体が導く、まだ見ぬ世界へ　ともに」をテーマにサスティナブルな社会づくりに貢献するアルバックの真空技術を紹介する。また、会期中の12日木曜の16時～17時はハッピーアワーを開催し、全国のアルバック各拠点に因んだ銘酒、また軽食等を用意する。
　アルバックの出展製品は次の通り。
（1）半導体
・メモリ・ロジック・先端半導体向け成膜装置
・自然酸化膜除去装置
・実装向け装置と産学連携プロジェクトのご紹介
（2）化合物半導体
・GaN通信デバイス向けスパッタ装置
・化合物半導体向けエッチング装置
・ピエゾMEMS用PZTスパッタ装置
・光導波路向けLNエッチング装置
（3）材料
・各種ターゲット（先端・メモリ・ロジック半導体、MEMS）
（4）コンポーネント
・スパッタ用Digital DC電源
・プロセスガスモニタ
（5）CIP
・半導体・電子部品向け装置の改造事例
・保全、保守24時間対応

カテゴリー

コンバーティングニュース