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2024/11/28

【SEMICON JAPAN 2024】日本精工、開発品「ハイブリッドXYテーブル」を初披露

　日本精工（NSK）は、2024年12月11日～13日に東京ビッグサイトで開催される「SEMICON JAPAN 2024」に出展する。ブースは東3ホールの3210。
　出展コンセプトは、「『MORE THAN PRECISION』　あたらしい動きが、次の世界をつくりだす。」。NSKは、新たな課題や目指すべき目標が発見される度にそれを追い求め、世の中を確実に前進させてきた。そしてこれからも、取り組まなければいけない課題から決して逃げない。あたらしい動きとアイデアが、次の世界を変える。NSKは、さらなる精度を追い求め、挑戦し続けている、という想いが込められている。
　SEMICON Japanには、NSKとして9年ぶりの出展となる。半導体は、用途の広がりとともに、製造工程も変化しており、この間NSKも最先端半導体製造装置向けの技術開発を進めてきた。半導体生産における課題解決、また、今後更に高度化していく半導体生産に向けたNSKの技術および製品を提案する。
　主な出展品は次の通り。
(1)真空環境用XYテーブル
　半導体やFPD（フラットパネルディスプレイ）の製造装置に要求される、高真空環境・クリーン環境に対応可能なXYテーブル。真空グリースや、NSK開発のDFO潤滑膜*1 を使用。ステンレスのほか、特殊非磁性材料を使用・納入した実績もある。
*1　DFO潤滑膜：ふっ素焼き付け膜（ドライとウエットの中間膜）

(2)ハイブリッドXYテーブル
　半導体製造装置に要求される動作安定性に対応した、静圧空気案内と転がり案内を組み合わせて用いたXYテーブル。今回NSKとして初出展となる。性能・コストを最適化した高精度XYテーブルとなっており、ステップ＆スキャン動作など、要求精度の異なる動作を1台のテーブルで実現（ステップ動作には転がり案内を、スキャン動作には静圧空気案内を採用）。

(3)状態監視ソリューション
　設備診断エキスパートが支援する状態監視ソリューションを紹介する。顧客の重要な設備における保全の最適化、省人化、製品品質の改善など、ものづくりDXを実現。高度診断AIと経験豊富な診断エキスパートによる遠隔監視が可能となる。

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